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不同的真空系统要求的真空度不同。因此往往必须由一套真空机组来完成，即由工作在不同压力范围的真空泵串接起来。高真空一侧的真空泵能达到系统要求的真空度，而低真空一侧的真空泵是直排大气的。显然*简单的真空机组就是一台直排大气的真空泵。但高真空系统一般需要三级机组，中真空一般需要二级机组。高真空分子泵维修厂家

真空是指气体压力小于大气压力的状态。真空度用帕斯卡（Pa）或托（Torr）来表示。在某些应用中，需要制造非常低的真空。例如，在电子学中，需要多个级别的真空来生产半导体器件。真空主要通过真空泵来制造和维持。高真空分子泵维修厂家

一般真空泵设备的操作都比较简单，大多正常生产过程中都不需要过多的人为操作，操作人员如果发现真空泵有异常状况，为防止发生事故，应立即切断电源，及时报修。使用过程中，应避免日光直射，远离热源体。日常工作中应做到每日点检保养设备，保持无灰尘、无杂物，防止杂物进入泵内。高真空分子泵维修厂家

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空机组，这有几方面的原因。流量的连续性就是其中之一。高真空泵都有前级耐压的限制，即前级高于某一压力，泵就不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵维修 ，而当前级泵达到这一临界压力时，往往抽速会减小，这样前级泵的排气流量可能会小于主泵的排气流量，这种流量的不一致破坏了流量连续性的要求，必然会引起真空机组不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵维修

转子的油膜冷却:这种冷却方法是在罗茨真空泵入口处连接一个输油管，用均匀滴下的冷却油带走转子的热量。油经过滤器器、冷却器，通过密封良好的油泵，再经过办输油管将油送到泵的入口。油滴到转子上之后，随着转子的旋转而均面在转了子的表面上。ALCATEL 5011分子泵维修

这不仅将转子的热量带走，同时在两个转子表面上形成油膜，防止气体的逆流，而且还能将转子表面上依附的微细尘埃带走。在泵的出口处设有油槽，收集废油，经过过滤，冷却后重新循环使用。此种方法效果良好。ALCATEL 5011分子泵维修 ，但由于泵内有油，失去了罗茨泵无油蒸汽污染真空系统的特点。再则油具有一定的粘度，对高速旋转的罗茨泵转子增加了不少的摩擦力，当然使泵的功率消耗增加。ALCATEL 5011分子泵维修

所使用的油，要求饱和蒸汽压应尽量代。

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半导体器件的生产制造工艺极其复杂，需要在高纯度硅片上执行一系列精密的物理或者化学操作，例如掺入相应的其它元素、形成多种金属薄膜和绝缘膜、进行表面的刻蚀处理等。这些复杂的生产制造工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行，而且对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。分子泵养护 

罗茨真空泵在石油、化工、塑料、nong药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，所以应该在国内大力推广和应用。同时也广泛用于石油、化工、冶金、纺织等工业。真空泵配件作为真空泵消*器，用于真空泵的噪声治理。分子泵养护

转子的内部冷却:为了使罗茨真空泵在更高压差下工作，可采取更有效的冷却方法，即将转子用循环油冷却，在泵轴两端分别有油孔、油径轴头打入，经转子内壁再从另一端排出。冷却油除冷却转子外，还润滑齿轮和轴承。这种冷却效果较好，泵在运转时转子温度低于外壳温度，大泵常采用这种方式。 分子泵维修，例如在80Torr压差下工作时，罗茨真空泵转子温度较外壳低78度，同时还发现泵负荷越重时，则间隙越大，这是因为转子用油冷却，温度比壳体低，负荷越大，壳体膨胀越厉害，轴间距加大，所以间隙会增大。

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